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光刻机是微电子制造的核心工艺之一,它通过精确控制光线在硅片上形成微小的图案,从而实现集成电路的制造。这一工艺在微电子领域中具有至关重要的作用,对于提高电子产品的性能、降低成本和推动科技发展具有重要意义。...